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微机电系统与微细加工技术

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朱荻，云乃彰，汪炜等编2008 年出版227 页ISBN：9787811332384
本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，概述了微机电系统技术和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍...
现代机电一体化技术丛书微机电系统及工程应用

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莫锦秋，梁庆华，王石刚编著2015 年出版192 页ISBN：9787122238832
本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系...
微机电系统

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梅涛，伍小平主编2003 年出版198 页ISBN：7502543201
微机电系统基础

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（美）Chang Liu著2007 年出版365 页ISBN：7111223330
本书是微电子教材。
MEMS和微系统-设计与制造

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（美）徐泰然（Tai-Ran Hsu）著；王晓浩等译2004 年出版402 页ISBN：7111132262
本书介绍了微系统工程的发展、市场、产品等知识。
MEMS和微系统-设计与制造

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（美）徐泰然（Tai-Ran Hsu）著；王晓浩等译2004 年出版402 页ISBN：7111132262
本书介绍了微系统工程的发展、市场、产品等知识。
微机电系统封装

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（美）Tai-Ran Hsu主编；姚军译2006 年出版238 页ISBN：730211952X
本书内容包括微机电系统封装的基本技术、材料、工艺及应用。
微机电系统

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范伟政，乔大勇编著2011 年出版207 页ISBN：9787561230305
本书共分为六章，分别介绍MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。
微机电系统基础英文版

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（美）刘昶著2011 年出版576 页ISBN：7111358275
微机电系统应用

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（美）MohamedGad-el-Hak编；张海霞等译2009 年出版467 页ISBN：9787111267331
本书主要介绍了MEMS技术应用方面的知识，包括惯性传感器等方面的知识。