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微机电系统封装

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（美）Tai-Ran Hsu主编；姚军译2006 年出版238 页ISBN：730211952X
本书内容包括微机电系统封装的基本技术、材料、工艺及应用。
微机电系统

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范伟政，乔大勇编著2011 年出版207 页ISBN：9787561230305
本书共分为六章，分别介绍MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。
微机电系统应用

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（美）MohamedGad-el-Hak编；张海霞等译2009 年出版467 页ISBN：9787111267331
本书主要介绍了MEMS技术应用方面的知识，包括惯性传感器等方面的知识。
微机电系统设计与制造

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莫锦秋等编著2004 年出版177 页ISBN：7502552375
本书主要介绍了微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。
微机电系统力学

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高世桥，刘海鹏著2008 年出版249 页ISBN：7118055662
本书以微机电系统为背景，以物理学基本力为基础，重点介绍了微米尺度下的力学环境，力学作用及微尺度效应，并介绍了微机电系统的动力学特性分析方法。...
微机电系统设计与加工

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（美）MOHAMEDGAD-EL-HAK编著2010 年出版536 页ISBN：9787111285977
本书主要介绍了MEMS技术中材料和加工方面的知识，内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用等知识。...
微机电系统设计与制造

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刘晓明，朱钟淦编著2006 年出版371 页ISBN：7118041211
本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基本制造技术、微传感器、微执行器、MEMS的应用及检测技术设计等。...
微机电系统（MEMS）原理、设计和分析

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田文超著（西安电子科技大学机电学院）2009 年出版250 页ISBN：9787560622231
本书介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析和使用方法、加工工艺、表面特征、检测技术、主要应用及COMSOL多物理分析软件微机电模块。...
微机电系统与微细加工技术

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朱荻，云乃彰，汪炜等编2008 年出版227 页ISBN：9787811332384
本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，概述了微机电系统技术和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍...
微机电系统动力学

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孟光，张文明著2008 年出版336 页ISBN：9787030218728
本书是有关微机电系统（MEMS）动力学的专著，首次全面介绍MEMS动力学的理论基础与应用，展示当今MEMS动力学研究的最新研究进展，系统论述MEMS动力学相关理论和目前引起人们关注的科学问题，基本涵盖了MEMS及MEMS动力学...