微机电系统

本书共分为六章，分别介绍MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。

微机电系统基础 英文版

微机电系统应用

本书主要介绍了MEMS技术应用方面的知识，包括惯性传感器等方面的知识。

公路机电系统维护技术指南

微机电系统（MEMS）工艺基础与应用

微机电系统设计与制造

本书主要介绍了微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。

微机电系统力学

本书以微机电系统为背景，以物理学基本力为基础，重点介绍了微米尺度下的力学环境，力学作用及微尺度效应，并介绍了微机电系统的动力学特性分析方法。...

微机电系统基础 英文版

本书阐述了微机电系统的基础知识，还涉及微机电系统的前沿和尖端技术。

微机电系统设计与加工

本书主要介绍了MEMS技术中材料和加工方面的知识，内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用等知识。...

微机电系统设计与制造

本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基本制造技术、微传感器、微执行器、MEMS的应用及检测技术设计等。...