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材料科学与工程手册 下 第10篇 半导体材料篇
师昌绪，李恒德，周廉主编2004 年出版185 页ISBN：7502521569本书内容包括：基础篇、制备和加工篇、组织结构篇、性能测试篇、使用行为篇、金属材料篇、无机非金属材料篇、高分子材料篇、复合材料篇、半导体材料篇、特殊功能材料篇、生物医用材料篇。...
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先进半导体材料性能与数据手册
（俄）Michael E.Levinshtein等编；杨树人，殷景志译2003 年出版268 页ISBN：7502547460本书介绍了半导体材料应用十分广泛、介绍了六种先进半导体材料的性能与数据。
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新型半导体薄膜材料的制备与光电特性
陈光华著2004 年出版377 页ISBN：7311023734本论文集包括了作者25年来对非晶半导体和薄膜物理方面的研究内容和方法，同时也反映出作者对这个领域的认识过程和研究思路以及取得的成果。...
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材料科学与技术丛书 第16卷 半导体工艺
（美）K.A.杰克逊（Kenneth A.Jackson）主编；屠海令，万群等译校1999 年出版627 页ISBN：703007260X暂缺《半导体工艺》简介
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