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薄膜材料的制备及应用
刘琳,刑锦娟,钱建华编著2011 年出版174 页ISBN:9787551700917本书包括以下主要内容:导论;薄膜制备的物理方法;第一章薄膜制备的化学方法;第二章薄膜技术应用;第三章薄膜的装置;第四章薄膜的形成、结构与缺陷;第五章特殊薄膜材料等。...
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薄膜材料科学 第2版
(美)奥林著2013 年出版484 页ISBN:9787118081442本书详细介绍了薄膜材料科学的各个方面,内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛,资料全面,是一本薄膜材料科学领域的权威之作。...
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低温多晶薄膜晶体管研究
金仲和编著2001 年出版134 页ISBN:7040102838全国优秀博士学位论文:本书论述了目前TFT研究中存在的难点以及可能的解决途径。随后对多晶锗硅薄膜晶体管和金属诱导横向结晶多晶硅薄膜晶体管进行了深入研究。...
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