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信息、控制与系统技术丛书 微系统设计与制造
王喆垚编著2015 年出版742 页ISBN:9787302391678本书包括微系统设计基础理论、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS和微流体等内容。本书强调设计与制造相结合,在以基础理论为基础的同时,深入介绍微系统制造工艺和典型器件的制造方法。本书...
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