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电真空器件制造工艺学 下 第1分册
（苏）布利斯库诺夫（Н.А.Блискунов），（苏）卡美涅茨基（И.Я.Каменецкий）著；清华大学无线电系真空器件制造工艺教研组译1959 年出版197 页ISBN：15010·586 -
真空技术与设备国家标准汇编 第2版
中国标准出版社编2017 年出版420 页ISBN：9787506685795“真空”是指气压低于一个大气压的气体状态。 随着科研、生产的发展，获得并保持真空已形成一门相应的技术--真空技术。真空技术在工业生产和近代科学的发展中已日益渗透到各个领域，成为电子、冶金、机械、食...
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微电子制造科学原理与工程技术
（美）Stephen A. Campbell著；曾莹等译（明尼苏达大学）2003 年出版613 页ISBN：7505383132本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
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微电子制造科学原理与工程技术
（美）坎贝尔（Campbell，S.A.）著（明尼苏达大学电子与计算机工程系）2003 年出版604 页ISBN：7505386263本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
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真空制坯复合轧制技术与工艺
轧制技术及连轧自动化国家重点实验室（东北大学）著2014 年出版154 页ISBN：9787502467555RAL国家重点实验室在钢材产品研究开发过程针对所涉及到的析出理论问题的研究工作的总结，技术先进。本书可供有关科研人员、工程技术人员参考。RAL国家重点实验室在钢材产品研究开发过程针对所涉及到的析出理...
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快速成型及真空注型技术与应用
王永信主编2014 年出版235 页ISBN：9787560563367本书由两部分组成，第一篇 快速成型技术与应用；第二篇 真空注型后处理技术与应用。快速成型技术集成了CAD技术、数控技术、激光技术和材料技术等现代科技成果，是先进制造技术的重要组成部分。真空注型技术主要...
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