光刻

分数阶先进控制系统研究与应用

本书将分数阶PID控制器的设计及整定方法和先进控制及实时优化技术有机地结合起来，分数阶先进控制系统将对过程工业控制有重要的理论意义、学术价值、巨大的应用前景和显著的经济效益。本书阐述了分数阶系统...

光刻掩膜版的制造

大规模集成数-模和模-数转换器设计原理

先进制造技术与应用前沿 极端环境下的电液伺服控制理论及应用技术

本书介绍作者多年来所从事的飞行器和重大装备伺服机构电气液伺服控制基础理论和应用技术的最新研究成果。内容包括飞行器和重大装备的极端环境；电液伺服阀基本原理；气动伺服基本原理；电气液伺服控制原理等等。...

《半导体器件平面工艺》光刻

基于多Agent的大规模中文领域本体的自动化构建方法与应用研究

作者将多Agent理论引入到大规模中文领域本体的构建中，从专利本体的研究现状出发，结合开发大型专利本体需要做的具体工作，提出了一种基于多Agent的自动化构建方法，并给出多Agent系统体系结构、消息传递机制、存...

光致抗蚀剂 光刻胶

大规模集成电路设计

本书是“十五”国家级规划教材。本书根据SoC设计的基础知识和电路技术的新发展，系统地介绍模拟与数字集成电路中各种功能模块的原理、分析与设计。内容包括：MOS晶体管模型；CMOS工艺与版图基础；各种模拟功能块和...

轨道电路维修先进经验