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半导体微系统制造技术
刘斌主编2017 年出版224 页ISBN:9787111502685本书根据微电子机械系统的发展趋势,主要介绍了常用的微系统制作工艺,并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在微电子制造技术的基础上主要包括了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各...
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材料科学与工程手册 下 第10篇 半导体材料篇
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产业专利分析报告 第10册 功率半导体器件
杨铁军主编2013 年出版200 页ISBN:9787513017886本书收集了一个特定行业的专利态势分析报告。每个报告从相关行业的专利(国内、国外)申请、授权、申请人的已有专利状态、其他先进国家的专利状况、同领域领先企业的专利壁垒的方面入手,充分结合相关数据,展开分...
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