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半导体制造工艺控制理论
王少熙,郑然,阴玥,游海龙,张淳著2018 年出版170 页ISBN:9787561259535稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计三个方面展开,详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型。内容包括常规工序能力指数,特殊工...
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