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电磁装置计算机辅助设计
（加拿大）劳赛尔（Lowther，D.A.），（加拿大）席尔凡斯特（Silvester，P.P.）著；唐任远等译1989 年出版362 页ISBN：7111005120 -
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高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN：9787302489597系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...
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纳米数字集成电路的偏差效应分析与优化
靳松，韩银和著2019 年出版181 页ISBN：9787302522997本文的主要内容涉及了在纳米工艺下较为严重的晶体管老化效应-负偏置温度不稳定性（Negative bias temperature instability – NBTI）和制造过程中引起的参数偏差。介绍了参数偏差效应产生的物理机制及对电路服...
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