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半导体薄膜技术与物理
叶志镇…等编著2008 年出版278 页ISBN：9787308066174本书介绍半导体薄膜的真空技术；物理气相沉积技术（PVD）；化学气相沉积技术（CVD）；分子束外延技术；液相外延技术等内容。
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