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半导体器件TCAD设计与应用
韩雁,丁扣宝编著2013 年出版276 页ISBN:9787121193422本书内容包括半导体工艺及器件仿真工具Sentaurus TCAD,工艺仿真工具TSUPREM-4 及器件仿真工具MEDICI,工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD,工艺及器件仿真工具ISE-TCAD及工艺仿真工具(DIOS)的优化使用、器件仿真工具...
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