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TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器
张辉军著2013 年出版137 页ISBN:9787811296235采用纳米TiO2球壳薄膜作为敏感薄膜利用Si/TiO2异质结构的优良电学特性设计pn结衬底电极TiO2氧传感器。制备完成的TiO2纳米球壳直径在250nm左右,结构完整。能够满足提高被测气体的表面吸附,获得优良的气体灵敏...
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