聚合物微纳制造技术

本书系统地介绍了RF MEMS技术所涵盖的各种器件，以RF MEMS 理论设计和工艺实现为基础，阐述了RF MEMS器件的模型设计、结构制备、性能测试等，详细论述了RF MEMS开关、电感、电容、移相器、谐振器、振荡器、滤波...

生物医学纳米磁性材料原理及应用

本书是一本博士专业论文，主要论述生物医用纳米磁性材料在临床实践中的原理与应用，有较高的科研学术价值，同时又能够为我们现实生活服务。...

强变形微纳米化工艺

微计算机及应用

微库仑分析原理及应用

半导体微系统制造技术

本书根据微电子机械系统的发展趋势，主要介绍了常用的微系统制作工艺，并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在微电子制造技术的基础上主要包括了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各...

国外电子与通信教材系列 MEMS与微系统 设计、制造及纳尺度工程 第2版

作者在本书中首先对纳米技术的发展历史做了一个简要的回顾，然后对各种纳米结构在工程设计方面的基本原理做了详细的介绍，包括形成纳米结构的制造技术、基于分子动力学的工程设计原理以及纳尺度材料中的流体流...

微计算机原理及应用

电纺纳米纤维膜固定化酶的制备、性能及应用

纳米技术中的显微学手册 光学显微学扫描探针显微学离子显微学和纳米制造 第1卷

本书是一本关于各种显微学的原理及其在该迅猛发展的领域内应用的综述参考书。本书涵盖的范围包括共聚焦光学显微镜、扫描近场光学显微镜、各种扫描探针显微术、离子和电子显微镜、电子能量损失和X射线谱等...