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    (美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs)著;张文栋等译2003 年出版673 页ISBN:7030105656

    本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书,全书共分九章,几乎涉及MEMS技术的所有研究领域,畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理,并在此基础上,对典型器件和系,统的设计与工艺进行了详细的介绍。特...

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    余成波主编2009 年出版533 页ISBN:9787040273069

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    本书系统地介绍了电阻式、电容式、电感式、压电式、霍尔式、光电式以及热电式等各类常用感器。详细阐述了基本概念、工作原量、主要特性、测量转换电路及其典型应用;同时对测量的基本知识、感器的特性与...

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