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MEMS材料与工艺手册
(美)格迪斯,(美)林斌彦著2014 年出版966 页ISBN:9787564140533微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域,使用的材料种类多、工艺方法复杂,需要系统地归纳、分析与整理,以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料,MEMS加工工艺和制造工艺,MEMS工艺集成方法以及工业届已经...
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机械工程材料测试手册 物理金相卷
桂立丰总主编;唐汝均卷主编;机械工业部科技与质量监督司,中国机械工程学会理化检验分会编1999 年出版1077 页ISBN:7538131027本卷共分八篇:总论、金相检验、X射线衍色与散色分析、透射电子显微分析、扫描电镜与电子探针分析、表面分析、断口分析和物理性能测试。
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