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高端集成电路制造工艺丛书等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用

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张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN：9787302489597
系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...
丛书集成续编第85册应用科学类·医学、诊断学、内科、眼科、幼科、药物学

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2222 年出版771 页ISBN：
丛书集成三编第1册总类·专科书目、私家书目、经籍题跋、读书指南、类书、各类丛著

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王德毅1997 年出版808 页ISBN：9571716049
丛书集成三编史地类·宋稗史、宋稗史-外患、辽金元纪事本末、明载记、明纪事本末

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王德毅1997 年出版926 页ISBN：9571716049
民国丛书第4编 45 文化教育体育类新闻学集成第一至四册

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管翼贤纂辑1992 年出版940 页ISBN：7805697418
民国丛书第4编 46 文化教育体育类新闻学集成第5-8册

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管翼贤纂辑1992 年出版1012 页ISBN：7805697418
丛书集成三编宗教类、社会科学类·宗教论文、佛教论文、道教杂著、政治学、法律、刑法

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2222 年出版777 页ISBN：9571716049
丛书集成三编第31册艺术类·印谱、赏鉴、书画论、碑、碑贴考识、画题识、音乐

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王德毅1997 年出版752 页ISBN：9571716049
丛书集成三编第21册社会科学类·奏议、经国方略、地方行政、地方自治、军事学

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王德毅1997 年出版789 页ISBN：9571716049
丛书集成三编文学类·词别集-宋、词别集-金、词别集-元、词别集-明、词别集-清

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2222 年出版672 页ISBN：9571716049

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