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光学投影曝光微纳加工技术
姚汉民,胡松,邢廷文著2006 年出版285 页ISBN:7563916695本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中系列介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用实例和发展前景,特别详细介绍了投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工...
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高电压试验技术 第2版
张仁豫等编著2003 年出版275 页ISBN:7302060339清华大学电气工程系列教材:本书前8章讲述高电压试验设备及相应的测量装置,第9、10章分别叙述介质损耗和介质内部局部放电的测量,第11章讨论高电压实验室设计中的一些技术问题。...
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