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半导体微系统制造技术
刘斌主编2017 年出版224 页ISBN：9787111502685本书根据微电子机械系统的发展趋势，主要介绍了常用的微系统制作工艺，并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在微电子制造技术的基础上主要包括了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各...
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半导体制造技术导论 第2版
HongXiao（萧宏）2013 年出版460 页ISBN：9787121188503本书是一本半导体工艺技术的优秀教材，并不强调很深的理论和数学知识，而是重点关注半导体关键加工技术概念的理解。全书共分15章，包括：半导体技术导论，集成电路工艺导论，半导体基础知识，晶圆制造、外延和衬底加......
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半导体集成电路制造技术
张亚非（等）编著2006 年出版390 页ISBN：7040182998半导体集成电路发展到今天已经形成一个重大产业，本书主要讲述半导体集成电路产业的制造技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况介绍。根据半导体集成电路器件的基本原理和内部结构以及设计...
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制造用激光光束质量、传输质量与聚焦质量
左铁钏著2008 年出版247 页ISBN：9787030231611本书详细论述了材料加工对激光光束质量的要求以激光束质量的评定标准，分析了光束质量对光束传输、聚焦与加工质量的影响，归纳了不同激光参数对吸收率、热扩散、加工形貌等的影响，从理论上分析了大功率激光光束...
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半导体封装测试制造系统运行优化理论与技术
倪妍婷著2017 年出版173 页ISBN：9787307190344本书从系统化、协同化的角度构建适合半导体封装测试生产自身特点的协同体系结构，运用分布式人工智能技术中的多智能体对该系统进行模块化封装，对生产计划与调度中的具体问题进行建模，研究生产协同过程中的关键...
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生物材料的激光增材制造原理与技术
CijunShuai，ShupingPeng，PingWu等著2017 年出版319 页ISBN：9787560593432该书针对目前常规方法制备生物材料存在的生物力学性能差、多孔结构制备难、组织再生能力弱等问题，提出了利用激光增材制造技术制备高性能多级孔生物材料的方法，形成了激光快速烧结晶粒微纳化、第二相强韧化、...
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芯片制造 半导体工艺制程实用教程 第6版
（美）赞特著2015 年出版376 页ISBN：9787121243363本书是一部介绍半导体集成电路和器件制造技术的专业书籍。其英文版在半导体领域享有很高的声誉。本书的范围包括半导体工艺的每个阶段，从原材料制备到封装、测试以及传统的和现代的工艺，第六版补充了半导体制...
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芯片制造 半导体工艺制程实用教程 第5版
韩郑生编著2010 年出版387 页ISBN：9787121113727本书是一部介绍半导体集成电路和器件技术的专业书籍。其英文版在半导体领域享有很高的声誉，被列为业界最畅销的书籍之一，第五版的出版就是最好的证明。本书的范围包括半导体工艺的每个阶段，从原材料制备到封装...
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金属粉床激光增材制造技术
魏青松，宋波，文世峰，周燕等编著2019 年出版266 页ISBN：9787122336729本书从原理、材料、设备、制造、制件及应用等方面对粉床激光金属增材制造技术进行了全面、详细的介绍，对目前社会最关注的增材制造技术关键点和难点的最新研究成果进行了介绍，如原材料的制备及特性、增材制造...