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材料科学与技术丛书 第16卷 半导体工艺
（美）K.A.杰克逊（Kenneth A.Jackson）主编；屠海令，万群等译校1999 年出版627 页ISBN：703007260X暂缺《半导体工艺》简介
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半导体晶片清洗 科学、技术与应用
（美）克恩主编2012 年出版350 页ISBN：9787121173974半导体晶片清洗工艺已成为半导体器件制造过程中最为关键的操作之一，特别是在先进的ULSI硅集成电路的制造中。本书分别由19位业界公认的科学家撰写，所有与半导体晶片清洗相关的知识、科学和技术原理汇集到了一...
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半导体科学与技术手册
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