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超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制
陈学东，何学明，叶燚玺著2008 年出版223 页ISBN：9787560946108本书阐述了超精密气浮定位工作台中的气浮支承技术、系统动力学、超精密定位运动及其控制等基本理论与方法。主要内容：超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术；超精密气浮支承的建模...
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全柔顺并联机构理论 空间微纳尺度超精密定位系统研究
朱大昌，李培，顾起华著2013 年出版178 页ISBN：9787502463885本书拟采用新型全柔顺并联支撑机构，基于螺旋理论及空间拓扑优化设计方法，对支撑机构空间构型进行综合与参数优化设计；采用多柔体弹性动力学理论，建立空间超精密定位系统弹性振动微分运动方程，探寻具有非线性时滞...
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超精密位移定位平台控制系统设计
邵萌，陈士忠，王赛男著2018 年出版187 页ISBN：9787551718974《高精密位移定位平台控制系统设计》一书依托国家科技支撑计划-高精密位移定位平台设计，以沈阳建筑大学微纳实验室的高精密位移平台为研究对象，利用现代理论等工具，对高精密位移平台的控制系统和控制算法进行...
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