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高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN：9787302489597系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...
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金属-氧化物-半导体集成电路 金属-氧化物-半导体大规模集成电路的理论、设计、制造和在整体中的应用
（美）W.M.彭尼，L.劳编；清华大学电子工程系半导体车间译1977 年出版324 页ISBN： -
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大规模储能技术及其在电力系统中的应用
王松岑主编2016 年出版129 页ISBN：9787512389618前言第一章绪论；第一节储能技术及其应用；第二节未来电力系统面临的新问题及大规模储能技术的作用；第三节大规模储能技术发展现状与展望。第二章机械储能及应用；第一节抽水蓄能；第二节压缩空气储能；第三节飞轮储.....
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