电子封装、微机电与微系统

本书共分三篇，第一篇介绍了电子封装技术的概念、材料、主要工艺、封装可靠性、点连接以及封装存在的问题；第二篇介绍了微机电技术的概念、主要封装技术和典型器件的封装方法；第三篇基于前两篇介绍了SOC、SIP和...

微机械电子系统及其应用

微机械电子系统及其应用 第2版

机械电子学 机电一体化系统中的数字化检测与控制

本书内容包含了机械电子学的总体理论、设计方法和应用，以数字传感器、前向通道、微处理系统及软件、后向通道、执行机构、接口与通信等为主要结构进行了详细论述，并着重于数字化装置和系统进行了深入讲解和分...

微机电系统工程基础

本书主要介绍正在快速发展的微电机系统工程基础知识，涵盖了当今高科技前沿领域的半导体超精密制作工艺、微传感器和精细微系统的机理、设计、建模、应用等。...

微机电系统机械学

本书重点揭示了微系统的表面界面效应、微纳米尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律，以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律，并结合典型的微纳...

微机电系统集成与封装技术基础

本书主要介绍了微机电系统与填封装技术，包括微机电系统集成技术基础。

微计算机控制机电设备集锦 原理与实例

本书通过对步进电机、洗衣机、电梯、车床、铣床等控制实例的分析

光微机械电子学

泛结构化微机电系统集成设计方法

本书提出和建立了泛结构化微机电系统集成设计方法，系统性地论述了其理论体系和关键技术。本方法是在对当前微机电系统集成设计工具的体系结构、基础理论、关键技术及发展趋势等方面进行归纳和总结的基础上，提...