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激光等离子体极紫外光刻光源
窦银萍，宋晓伟，陶海岩著2018 年出版112 页ISBN：9787118117936本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状，并系统阐述激光等离子体光源的相关理论。其次，介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。重点介绍了激光参数及靶条...
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超低频和极低频电磁波的传播及噪声
袁翊著2011 年出版396 页ISBN：9787118074123本书全面叙述超低频和极低频电磁波在地面上和在海水中的传播问题。内容包括：基础理论，传播媒质的电磁性能及其对电磁波传播的影响，电磁波的波导传播理论，勒让德函数、电磁场的近似公式和舒曼谐振，椭圆极化波和地...
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