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（法）帕斯卡·夏伯特，（英）尼古拉斯·布雷斯韦特著；王友年，徐军，宋远红译2015 年出版321 页ISBN：9787030459190
针对微电子工业中的材料处理工艺（如半导体芯片加工），介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前最重要的三种射频等离子体源（单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合）及其关联性。书中也......
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（法）PIERREJARRY，（美）JACQUESN.BENEAT著；吴永乐，颜光友，李明星，刘元安译；王卫民审校2016 年出版141 页ISBN：9787121289996
本书系统介绍了射频和微波领域的基本知识。本书分为传输线、波导和腔体三个部分，其中传输线部分（第1章至第3章）介绍了传输线的基础知识，波导部分（第4章至第7章）介绍了波导的特性，腔体部分（第8章和第9章）介绍了......
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余旭初编著2000 年出版168 页ISBN：75065·112
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李金宗编著1994 年出版562 页ISBN：7040045087
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陈尚勤，魏鸿骏编著1984 年出版267 页ISBN：15045·总2847无6273
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傅京孙著；戴汝为，胡启恒翻译1983 年出版360 页ISBN：15031·527
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（美）R.C.冈察雷斯，M.G.汤姆逊著；濮群等译1984 年出版190 页ISBN：15235·174
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黄凤岗，宋克欧编著（黑龙江东方学院计算机学部）1998 年出版168 页ISBN：781007721X
