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针对微电子工业中的材料处理工艺（如半导体芯片加工），介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前最重要的三种射频等离子体源（单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合）及其关联性。书中也......
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（法）PIERREJARRY，（美）JACQUESN.BENEAT著；吴永乐，颜光友，李明星，刘元安译；王卫民审校2016 年出版141 页ISBN：9787121289996
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（美）尼克内贾德著；张为等译2011 年出版347 页ISBN：9787121133831
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日本高分子学会编；徐震春，岳传龙译1981 年出版377 页ISBN：13119·882
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日本高分子学会编；徐震春，岳传龙译1982 年出版300 页ISBN：13119·955
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