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针对微电子工业中的材料处理工艺(如半导体芯片加工),介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性,涉及目前最重要的三种射频等离子体源(单频及多频电容耦合,电感耦合,螺旋波耦合)及其关联性。书中也......
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(法)PIERREJARRY,(美)JACQUESN.BENEAT著;吴永乐,颜光友,李明星,刘元安译;王卫民审校2016 年出版141 页ISBN:9787121289996
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(美)杜塞尔(Duzer,T.V),(美)特纳(Turner,C.W)著;俞知恩译1986 年出版519 页ISBN:15176·665
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西安交通大学电工原理教研室著1981 年出版519 页ISBN:7202·18
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马红光,韩崇昭编著2006 年出版260 页ISBN:7118043516
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(美)门德尔森(Mendelson,E.)著;代正贵,余大海译1985 年出版292 页ISBN:7344·1
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戴宏,戴琳编著2017 年出版111 页ISBN:9787030560889
本书内容由两部分组成。数学方面涉及复数和一元多项式、行列式、矩阵(向量组)及其运算、矩阵的初等变换、矩阵(向量组)的秩与线性代数方程组、矩阵的相似变换等内容。线性电路方面涉及线性代数方程组和线性微分...
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本书是一本关于无源元件电磁理论基本原理和射频集成电路设计的经典教材。书中详细阐述了有关电阻、电容和电感的基本原理、设计与应用等基本问题;对相关电路设计进行了深入探讨;同时结合应用介绍了传输线、变...